在冷冻机中真空镀膜事情道理是膜体在高温下蒸发落在工件外貌结晶。由于氛围对蒸发的膜体分子会发生阻力造成碰撞使结晶体变得粗拙无光，所以必需在高真空下才气使结晶体精密灼烁，果如真空度不高结晶体就会失去光芒结协力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，团结差工效低光芒差。此刻加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的浸染下加快轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，办理了已往自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。在中频设备必需冷冻机加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体活动时有一个集肤效应，电荷会聚积在电导有外貌积，这样使电导发烧所以回收中孔管做导体中间冷冻机加水冷却。

　　制冷机为什么也要用水冷却，磁控溅射靶在发射时会发生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。制冷机同时尚有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技能中最突出的成绩之一。制冷机真空镀膜以溅射率高、基片温升低、膜-基结协力好。从更深条理研究电子在非匀称电磁场中的举动纪律,探讨了磁控溅射的更一般道理以及磁场的横向不匀称性及对称性是磁约束的本质原因。制冷机真空镀膜磁控溅射可以被认为是镀膜技能中最突出的成绩之一。它以溅射率高、基片温升低、膜-基结协力好、装置机能不变。

　　冷水机是一种水冷却设备，能提供恒温、恒流、恒压的冷却水设备。其事情道理是先向机内水箱注入必然量的水，通过制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入需冷却的设备，冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，到达冷却的浸染。冷却水温可按照要求自动调理，恒久利用可节省用水。冷水性能节制真空镀膜机的温度，以担保镀件的高质量。假如不配冷水机就不能使真空镀膜机到达高精度、高效率节制温度的目标，因为自然水和水塔散热都不行制止地受到自然气温的影响，并且此方法节制是极不不变的。冷水机具有完全独立的制冷系统，毫不会受气温及情况的影响，水温在5℃～30℃范畴内调理节制，因而可以到达高精度、高效率节制温度的目标，冷水机设有独立的水轮回系统。